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 目前市场上提供的商品扫描电镜分为两类:场发射扫描电镜(FEGSEM)和常规扫描电镜(ConventionalSEM,简称CSEM),两类电镜的主要性能指标对照如表3-5所示。表3-5 场发射与常规扫描电镜主要性能指标对照表1.场发射扫描电镜场发射扫描电镜属 (共 1390 字) [阅读本文] >>