MOCVD全名叫有机金属化学气象沉积设备,是在蓝宝石设备上生长GaN的薄膜的专用设备,GaN材料是化合物半导体材料的一种,它是用来做LED(发光二极管)的主要材料。
MOCVD设备是LED蓝宝石基片外延的专业设备,一块2英寸0.43mm厚度的蓝宝石外延后可以做55000个超亮LED灯的基片,液晶显示器的背投光源现在也都选择蓝宝石外延片做,蓝宝石的化学名称叫三氧化二铝,硬度9级仅次于金刚石。
目前国内多家企业已经生产出MOCVD设备,并且有多家外延芯片企业正在试用,重大装备国产化的希望之星已然诞生,正在逐渐形成星火燎原之势。国产设备的出现,带来了一系列优异的本地化服务,也直接影响到了进口设备厂商的产品价格和服务态度。特别是国产MOCVD设备的出现,虽然现在还没有形成气候,但是已经使得进口MOCVD设备价格大幅下降,生产商服务态度大幅好转,生产企业也从中直接受益。
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