5.4.3 SF6与含卤族元素气体组成的混合气体

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5.4.3 SF<sub>6</sub>与含卤族元素气体组成的混合气体

为了寻找比SF6介电强度更高的气体,对很多含卤族元素的气体进行了实验研究。表5-11列出了部分实验结果。表中比SF6的(E/p)lim高的那些气体中,C3F6的(ph)c(电极表面粗糙度临界值)为13 MPa·μm,远远超过SF6,这说明对于电极表面突出物的敏感 ......(本文共 2345 字 , 8 张图)     [阅读本文] >>


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