三、电子束斑直径与束流的关系

所属栏目：扫描电镜与能谱仪分析技术

三、电子束斑直径与束流的关系

电子束的最终束斑尺寸dp直接影响图像分辨率。人们总希望电子光学系统可以提供最小的束斑dmin,又可获得最大的束流imax,这就必须建立imax～dmin之间的关系。最终束斑直径dp从公式(5.2)导出:将各直径分别代入上式:前两项为衍射和球差 ......（本文共 577 字 , 4 张图）     [阅读本文] >>


推荐内容


科普

更多