3.3.1 制造小器件的方法

所属栏目:纳米物理与纳米技术

3.3.1 制造小器件的方法

微电子加工技术能够在1cm2的面积内制造出包含几百万个工作元件的复杂的平面结构,这种加工技术同样适于用微米尺度的元件制造基本的平面力学机器。涡轮机叶轮是其中的一个例子,如图3.7所示。这个放射式的流入涡轮机是采用 ......(本文共 215 字 , 1 张图)     [阅读本文] >>


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