1.2.1 热辅助化学气相沉积

对于外延晶体硅薄膜太阳能电池,最广泛研究的沉积技术是热辅助化学气相沉积(ThermallyAssistedChemicalVaporDeposition,TA-CVD),其原理是Si前驱物和掺杂气体(dopinggas或dopantgas)在加热的Si表面上发生热辅助的非均匀分解。自从20世纪70年代,TA-CV ......（本文共 1338 字 , 1 张图）     [阅读本文] >>