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除了加速离子,等离子体技术也可以提供外加能量,增加表面迁移率,用低温沉积方法实现高质量的外延生长。通过低能量的等离子体增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD),含有低能量离子的高电流等离子体放电可以产生 ......（本文共 400 字 ） [阅读本文] >>
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