1.5.1.3 分批式外延反应腔

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1.5.1.3 分批式外延反应腔

虽然连续化学气相沉积ConCVD和对流辅助化学气相沉积CoCVD已经在大规模生产的可行性上取得了很大的进展,但是这两种概念的可靠性和安全性仍然有待论证。微电子领域发展了分批式外延反应腔(batchtypeepitaxialreactor),用SiH4作为Si前驱物 ......（本文共 1142 字 , 2 张图）     [阅读本文] >>


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