1.5.2.1 温度差法

温度差法(temperaturedifferencemethod,TDM)是一种有较好前景的准连续技术,可以在10cm×10cm的大面积多晶硅衬底上生长外延层,是液相外延LPE大规模生产研究的重要方向[95,96]。TDM先被用于为发光器件沉积Ⅲ-Ⅴ族半导体层(semiconductorlayer)[97]。与 ......（本文共 463 字 , 1 张图）     [阅读本文] >>