1.5.2.2 分批式液相外延

所属栏目：薄膜太阳能电池

1.5.2.2 分批式液相外延

如果大规模生产的液相外延LPE采用连续的在线式工艺,比不上分批式工艺,因为溶解的Si会不断地减少,需要在每一次外延生长后更换溶液。在分批式液相外延(batchtypeliquidphaseepitaxy)中,将16片衬底同时浸润在“无限源”(infinitesource)中,使 ......（本文共 433 字 , 1 张图）     [阅读本文] >>


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