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在区熔再结晶ZMR工艺调整的许可范围内,更高的成本可以直接转化为扫描速度的增加。原则上,ZMR不是高投资的工艺,所以主要的投资成本来自于单位面积的工艺成本。进一步的计算表明,为了使ZMR成本低于10/m2,工艺的扫描速度必须高于 ......(本文共 2353 字 , 3 张图) [阅读本文] >>