2.3.4.1 设备配置

所属栏目：薄膜太阳能电池

2.3.4.1 设备配置

在20世纪80年代初就有报道,用非相干光源作为热源的区熔再结晶ZMR制备Si薄膜,用于微电子领域的绝缘体上硅SOI应用[101]。10年之后,ZMR应用于异质衬底晶体硅薄膜太阳能电池的研究,先是日本三菱电机在1996年的报道[102],而后是德国弗劳 ......（本文共 1254 字 , 2 张图）     [阅读本文] >>


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