2.3.4.2 工艺控制

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2.3.4.2 工艺控制

我们已经详细地讨论了区熔再结晶ZMR工艺中温度梯度、生长形貌和缺陷密度之间的关系。根据这些讨论,结晶面温度梯度的精确控制对生长高质量ZMR薄膜非常重要。虽然不容易直接测量温度梯度的数值,但是利用熔化Si的反射率变化 ......(本文共 1239 字 , 2 张图)     [阅读本文] >>


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