2.4.2.2 化学产率

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2.4.2.2 化学产率

常压化学气相沉积APCVD的化学产率,即Si的转换效率,定义为初始气相Si转换为固相Si的效率。比较初始气相Si/Cl摩尔比例和热平衡状态沉积温度下最终的Si/Cl比例,可以给出Si沉积反应理论上耗用的SiHCl3。用SiHCl3作为前驱气体的初始Si/Cl比 ......（本文共 614 字 , 1 张图）     [阅读本文] >>


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