所属栏目:薄膜太阳能电池
微电子领域使用的外延反应腔由于成本原因,不适合制备异质衬底晶体硅薄膜太阳能电池(参见2.4.2节)。异质衬底晶体硅薄膜太阳能电池Si沉积的设备研究专注于:●大面积的分批式反应腔;●高生产速率的连续在线式反应腔。数个研究 ......(本文共 1530 字 , 1 张图) [阅读本文] >>