2.4.3.1 反应腔的开发

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2.4.3.1 反应腔的开发

微电子领域使用的外延反应腔由于成本原因,不适合制备异质衬底晶体硅薄膜太阳能电池(参见2.4.2节)。异质衬底晶体硅薄膜太阳能电池Si沉积的设备研究专注于:●大面积的分批式反应腔;●高生产速率的连续在线式反应腔。数个研究 ......(本文共 1530 字 , 1 张图)     [阅读本文] >>


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