1.2.1 薄膜应力的形成及分类

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1.2.1 薄膜应力的形成及分类

从作用方向上来看。薄膜应力有张应力和压应力之分。若薄膜具有沿膜面膨胀的趋势则基底对薄膜产生压应力,如图1-2-1(a)所示;相反,薄膜沿膜面的收缩趋势造成张应力,如图1-2-1(b)所示。一般定义张应力为正应力,压应力为负应力。过 ......（本文共 1868 字 , 3 张图）     [阅读本文] >>


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