1.2.2 薄膜内应力的力学模型

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1.2.2 薄膜内应力的力学模型

在薄膜中取一个微区,其大小为Δx,Δy,Δz,如图1-2-4所示[3,4]。图1-2-4　薄膜中微区应力取向示意图在受力状态下,一般可以表现为6个正应力(应力方向与坐标轴平行,分别为σx,σy,σz,σ-x,σ-y,σ-z)和6个切应力(取向位于坐标轴垂直的平面内 ......（本文共 631 字 , 1 张图）     [阅读本文] >>


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