所属栏目：光学薄膜
1.2.4.1 薄膜应力形成的主要机制在薄膜材料和基底材料确定以后,沉积参数和处理过程是影响薄膜应力状态的重要因素。表1-2-1为薄膜应力的几种诱因,可以看出,薄膜应力的诸多形成和发展的因素基本都是与薄膜的制备过程相关[6～ ......（本文共 7228 字 , 18 张图） [阅读本文] >>
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