1.2.5 多层膜应力

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1.2.5 多层膜应力

1.2.5.1 多层膜应力的物理模型为了实现特定的光谱性能,光学薄膜多数是由多层膜组成。与单层膜不同,多层膜的应力发展涉及多种薄膜材料的热物参数的组合及多个界面的力学匹配问题,其物理过程比单层膜更复杂。下面对多层膜中 ......(本文共 3411 字 , 14 张图)     [阅读本文] >>


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