1.2.6 光学薄膜应力发展的实时监测

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1.2.6 光学薄膜应力发展的实时监测

一般条件下,薄膜应力的测量都是在薄膜制备以后,甚至是放置了很多天以后进行。所得到的薄膜应力是薄膜的终态应力,它不仅包含了薄膜应力发生发展的全部信息,还包含了薄膜制备之后,环境、时效及所有的物理化学过程对薄膜应力 ......(本文共 6639 字 , 20 张图)     [阅读本文] >>


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