2.2.2 软X射线及极紫外薄膜的一般设计结果

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2.2.2 软X射线及极紫外薄膜的一般设计结果

2.2.2.1　2～30nm波段,几种软X射线多层反射膜的材料对的优化设计结果根据X射线反射膜材料对的一般选择原则,对几十种可能的薄膜材料进行配对组合,并进行优化设计。从而在不同波段,得到了最佳组合,最佳厚度比,并算出了可能达到的 ......（本文共 4726 字 , 16 张图）     [阅读本文] >>


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