所属栏目：光学薄膜
软X射线多层膜的制备较之可见光多层膜有更严格的技术要求。镀膜设备必须做到:①能按原子尺度在镀膜过程中实时控制膜厚;②膜层足够均匀;③尽量减少界面变粗糙和两种材料在界面处的渗透扩散;④有足够长的稳定时间以适应制备 ......（本文共 1755 字 , 2 张图） [阅读本文] >>
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