基于钯纳米颗粒导电沟道的室温型氢气传感器的研究

摘要： 随着氢能的广泛应用，检测氢气（H₂）泄漏十分必要。采用溶剂热法合成钯（Pd）纳米颗粒，结合旋涂法从极大程度上简化了覆盖敏感层工艺，在利用微机电系统（MEMS）工艺制备的硅基金（Au）叉指电极上研究了基于“氢致Pd晶格膨胀效应（HILE）”的裂结式H₂传感器的敏感特性，为低成本批量化制备室温型氢气传感器提供了可行性研究。结果表明该传感器对H₂的响应值与Pd纳米颗粒在基底上的... （共6页）