基于VLPE技术的碲镉汞p-on-n双层异质结材料与器件研究进展

摘要： 本文对比分析了碲镉汞p-on-n器件四种制备方式的优劣，其中，VLPE(Vertical Liquid Phase Epitaxy)技术具有原位As掺杂与高激活率的技术优势，是制备高性能p-on-n双层异质结器件的重要方式。针对该技术，从材料生长、器件工艺和器件性能方面回顾了国内外研究进展，讨论了国内外差距，明确了制约该技术发展的关键问题和技术难点，并提出了解决思路。最后，展望...