脉冲放电驱动磨料流辅助磨削单晶碳化硅研究

摘要： 单晶碳化硅作为半导体材料，其被加工表面及亚表面质量直接影响到电、磁、光等工作性能，但在高精度的机械加工中，纳米切深的不可控和高速主轴转动的刀具端跳会产生不稳定的切削力，导致表面微毛刺和改性层以及亚表面残余应力和损伤。因此，在单晶碳化硅的金刚石磨削中，利用砂轮与工件间的脉冲放电驱动游离磨料流动，抵消机械作用对其表面及亚表面的影响，探究机械加工、磨料流抛光和热化学去除的复合加工对表...