二、扫描电镜分析

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二、扫描电镜分析

扫描电镜(scanningelectronmicroscope,SEM)的基本装置如图4-3所示,主要包括电子光学系统、样品室、信号处理与显示系统和真空系统四部分。电子光学系统主要由电子枪、电磁透镜和扫描线圈组成。由电子光学系统产生的电子束与样品表面 ......（本文共 2813 字 , 18 张图）     [阅读本文] >>


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