低真空测量光学谐振腔的设计与分析

摘要： 基于磁约束核聚变运行真空测量需求和强磁场高辐照运行环境要求，本文设计了一种光学真空测量手段，介绍了该方法的原理，结合理论计算与有限元仿真，模拟分析了温度、气压和振动等主要因素对光学谐振腔测量不确定度的影响，并提出优化方案，验证了光学谐振腔应用于聚变环境测量的可行性。本研究为光学谐振腔的工程化设计提供了理论指导与依据，也为优化提高测量装置精确度提供了可行性方案。 （共8页）

聚变堆真空测量气体压力光学谐振腔