工件特征在机测量的关键误差分析与补偿研究

摘要： 针对激光在机测量工件特征时的测量精度问题，对测量系统的关键误差影响因素及补偿应用进行了研究。使用激光位移传感器作为测量工具对工件特征进行在机测量时，测量结果受激光位移传感器倾斜误差和数控机床几何误差影响。为了校正激光位移传感器在物面倾斜时引起的测量误差，设计了倾斜误差试验，利用勒让德多项式对倾斜误差进行了建模和补偿，补偿后倾斜误差可减小至±0.025 mm以内。针对不动式激光在... （共9页）