大气压双频Ar/O₂放电等离子体特性的数值模拟

摘要： 文章采用等离子体流体理论模型，研究了双频容性耦合放电中高频源频率对大气压氩气与氧气混合气体放电等离子体的各类粒子密度与各项等离子体参数的影响。通过模拟不同高频源频率的放电，得到了放电空间中各类粒子的密度、电子温度、电场等参数的一维时空分布，进一步了解了双频放电中高频源频率对等离子体特性的影响作用。研究结果表明：当放电电压固定时，随高频源频率的升高，电子密度逐渐增大；电子温度、电... （共10页）