现代化产业体系中科技创新与产业创新的深度融合：全球新一代光刻系统的启示

摘要： 以科技创新引领现代化产业体系建设是把握新一轮科技革命和产业变革机遇的战略选择，也是面向高水平科技自立自强赢得战略主动的必然之举。科技创新是产业创新的内生动力，产业创新是科技创新的价值实现，构建和完善现代化产业体系关键在于实现科技创新和产业创新的深度融合。文章以全球极紫外（EUV）光刻系统为例，基于创新链视角，从“应用基础研究—应用研究—中试放大—大规模量产”4个阶段对EUV光刻... （共12页）