高次凸非球面补偿检验方法研究

量子电子学报页数： 10 2024-01-15

摘要：高次凸非球面镜是光学系统中至关重要的元件,通常作为次镜来补偿光学系统的轴外像差,但其检验方法一直是一大难点。基于背向零位检测方法,提出利用三透镜与单折射面组合的形式来补偿高次非球面的法线像差。首先选取高次非球面的二次比较面来简化计算,基于三级像差理论求解系统的初始结构,对高次非球面的法线像差进行补偿，使用ZEMAX软件仿真与优化后,设计结果完全满足要求。随后结合一块有效通光口径... （共10页）

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