正弦型中频面形误差对光学传递函数的影响

摘要： 中频面形误差（MSFSE）会导致光学系统发生小角度散射，影响系统性能。为了在光学设计和光学加工中制定合理的中频面形误差公差，就中频面形误差对光学系统调制传递函数（MTF）的影响进行了量化研究。在衍射受限条件下，推导出正弦型中频面形误差对光学系统MTF的影响的表达式并对其进行分析，然后通过光学设计软件仿真验证理论推导结果。假设光学系统光瞳上带有正弦型中频面形误差，对光瞳函数进行傅...