基于同轴柯勒照明的大变倍比紧凑型显微镜设计

摘要： 为了实现大靶面、大变倍比显微成像并解决同轴柯勒照明高集成度设计的问题，本文提出了一种基于同轴柯勒照明的大变倍比紧凑型显微镜光学系统设计方法。首先，对望远镜和显微镜连续变倍光学系统的成像原理进行了分析，并对正组补偿式变倍显微镜光学系统的设计原理进行了理论分析。然后，提出把前固定组分解为准直组和汇聚组，并在两镜组间设计分光镜，并通过共用透镜组实现同轴柯勒照明系统的紧凑型设计。最后，...