面向栽培基质的二氧化钛电极EGFET pH传感器设计

摘要： 针对农业生产中栽培基质直接在线检测pH准确性差的问题，采用化学腐蚀法，制备出具有氢离子敏感特性和超亲水特性的二氧化钛(TiO₂)电极，并且采用退火工艺以提高电极表面硬度；将TiO₂电极与金属氧化物场效应晶体管(MOSFET)组合成基于延伸式栅极场效应晶体管(EGFET)的pH传感器.测试得到传感器灵敏度为0.050 63 V/pH,重复性试验的变异系数最大为0.005 7.... （共6页）