大行程位移台干涉测距系统的误差补偿

摘要： 双频激光干涉仪作为常用的精密光学非接触式测量设备，具有精度高、抗干扰能力强、灵活性好等优点。然而环境温度变化、机械振动等因素可能会影响其测量结果的准确性，并且影响程度会随着测量光程的增加而增大。针对基于双频激光干涉仪的大行程位移台测距系统，首先研究了位移台测距系统的测量原理，然后针对系统存在的各项误差进行了分析和补偿，最后，对系统进行综合误差补偿实验，短时间补偿量达到10~(-...