光栅MOEMS加速度计温度特性

摘要： 由于硅微机械加速度计受温度影响，导致硅弹性模量和热膨胀系数发生变化，造成微光机电系统(MOEMS)加速度计标度因数漂移、测量稳定性下降等问题。首先，采用COMSOL软件对光栅MOEMS加速度计微机械结构部分进行了温度特性仿真，分析了硅弹性模量温度系数和热膨胀系数对光栅MOEMS加速度计微机械结构标度因数和零位的影响。其次，设计了温控精度达0.1℃的温度控制系统，并利用该系统对加...