一种用于MEMS加速度计温度性能提升的双质量全差分结构

摘要： 微电子机械系统(MEMS)加速度计作为应力敏感器件，很容易受到外界应力的影响，尤其是对温度应力非常敏感，MEMS加速度计的温度性能成为了制约加速度计性能提升的关键因素。为了提高MEMS加速度计的温度性能，减小温度漂移，提出了一种新型的双质量、全差分MEMS敏感结构方案。通过双质量的差分效果，可以将外界温度变化引起的变形差分掉，从而降低加速度计的温度系数，提高温度性能。利用有限元...