面向MEMS质谱仪离子源的场发射针尖阵列研制及性能

摘要： 针对微电子机械系统(MEMS)质谱仪应用中对高工作气压和高电子电流的需求，同时保持MEMS技术在体积和质量上的优势，研制了一种用于MEMS质谱仪离子源的基于场发射原理的针尖阵列。通过MEMS加工技术实现了最大44个/mm~2的针尖密度，并在4和6英寸(1英寸=2.54 cm)的硅基晶圆上完成平行批量制造。实验结果显示，1 600个针尖组成的阵列在3.4×10^-3Pa气压下...