热振子式Z轴MEMS角速度陀螺敏感机理的研究

摘要： 揭示了一种热振子式Z轴MEMS角速度陀螺的敏感机理。在给出工作原理、热振子的振动模态和陀螺效应的基础上，对敏感结构内的温度场进行了计算。结果表明：(1)开机1.8 s后在敏感结构内形成一个稳定的温度场。(2)热振子在Y方向建立驱动模态，当沿着Z轴输入角速度时，在哥氏力的作用下热振子沿着X方向移动，造成温度场偏移，X方向上对称平行设置的两热线温差ΔT_X随着输入加速度a_z的加大...