用于特殊环境的薄膜应变计的制备与表征

摘要： 使用磁控溅射制备了卡玛合金薄膜应变计，研究了退火温度对薄膜微观结构的影响，测试了薄膜的电学性能以及压阻响应特性，并进行了环境实验。结果表明，随着退火温度升高，薄膜的电阻率逐渐下降，电阻温度系数则逐渐升高，在室温下有最小的电阻温度系数(TCR),约为59.9×10^-6/℃,经过200℃退火处理的薄膜应变计的应变灵敏度系数(GF)为2.2,TCR为64.4×10^-6/℃...