微纳陶瓷基铂铑10-铂热电偶技术研究

摘要： 针对燃气轮机温度检测高温热电偶存在的热容大、响应时间慢、无法表贴安装等诸多技术问题，利用陶瓷微纳加工技术制造出50μm厚度的柔性芯片基底，经薄膜工艺形成冗余结构的铂铑10-铂热电偶电极，通过“三明治”封装形成全陶瓷密封型热电偶，开展微纳陶瓷基高温热电偶性能与功能试验。试验表明，所设计的微纳陶瓷基高温热电偶具有快响应特点，能实现在圆滑表面进行柔性表贴安装，在0～1 000℃温度范...