一种新型高精度互感式位移传感器

摘要： 提出了一种采用差分结构设计，硅钢片作为铁芯的双E型互感式差分位移传感器，分析了该传感器的基本原理并采用有限元仿真得到传感器最佳线性度时对应的线圈匝数，相对于传统双U型结构，双E型互感式差分位移传感器的测量范围更大，线性度更好。原理样机的试验结果表明，当磁浮飞轮转子间隙在0～1.5 mm之间线性变化时，双E型互感式差分位移传感器的线性度为3.87%，满足磁浮飞轮转子位移测量要求。...