一种非接触式光学微腔液压测量系统

摘要： 为满足在狭小腔室中测量液体压强的需求，设计了一种非接触式光学法布里珀罗微腔液压测量系统，其中，光学微腔采用双光子三维打印技术制备，膜结构尺寸仅为350μm,设计的膜厚分别为4μm和6μm。系统主要采用嵌入式设计与衍射光栅光谱模块互联，实时采集光学微腔干涉光谱信号，实现了高精度光谱动态解调。实验结果表明，室温(25℃)下，4μm膜厚的微腔液压灵敏度高达398 pm/kPa,系统分...