针尖-样品距离对扫描微波显微成像的影响分析

摘要： 随着芯片制备工艺的不断完善，半导体集成电路朝着小型化、集成化的方向不断发展，给近场微波成像技术带来了新的挑战。本文建立了探针-样品三维电磁耦合模型，并利用有限元数值分析法研究了探针针尖与样品之间的电磁相互作用。在不同探针-样品间距下，对硅基芯片表面结构进行扫描微波成像。成像结果与仿真结果相一致，随着针尖-样品间距的增加，扫描微波测试系统的灵敏度和分辨率降低。对于由原子力显微术结...