正弦调频激光干涉仪Lissajous降维迭代校正算法

摘要： 正弦调频激光干涉仪(SFMI)在基础科学、精密制造等领域应用广泛，但相位调制深度变化等非线性误差限制了其测程及精度的进一步提高。本文提出一种新型正弦调频干涉仪Lissajous校正方法，通过降维迭代算法对测量过程中的干涉正交信号进行椭圆参数提取，实现实时校正，以消除非线性误差，提高测量精度。仿真测试证明，所提方法精度高，带宽利用率高，消耗资源少，对于正弦调频干涉仪测程和精度的提... （共5页）