非同轴并行彩色共聚焦测量系统表面倾斜角度误差分析及校正

摘要： 针对非同轴式并行彩色共聚焦测量系统在被测物表面倾斜时存在的测量误差，提出了一种误差补偿方法。该方法使用两块标准量块搭建的台阶作为被测物进行实验，首先使样品横向运动，对采集的表面高度数据进行直线拟合获得倾斜表面的线性公式，再利用获得倾斜表面直线的斜率与倾斜角度之间的关系，得到表面倾斜角度，并通过三角函数关系计算出每个数据点的误差，最终通过补偿的方式消除因表面倾斜产生的数据误差。为... （共12页）