超高精度棱镜的加工和检测技术研究

摘要： 棱镜是空间和军用白光、红外光学系统中的关键元件之一，能够在光学系统中实现更高精度的成像质量，故提出了超高精度棱镜的加工和检测技术。首先，分析了适用于棱镜加工的工装材料及加工方法，指出了超高精度棱镜加工的难点和关键点.然后，介绍了超高精度棱镜加工的工装制作、棱镜粘接、加工、检测方法，以及预防损害棱镜工装的防护措施。最后，通过加工总高为35～95mm的施密特硒化锌棱镜，用Zygo干...