超高真空光学显微系统的设计

摘要： 电子显微镜等仪器是研究材料微观形貌的重要工具，常工作在真空环境。为了快速瞄准电子显微镜测量的目标区域，有必要引入一种辅助光学显微镜，直接提供样品区域的空间图像。文章介绍了一种用于超高真空环境直接观测的超高真空光学显微系统的设计，光学显微物镜具有21.8mm的长工作距离，实现了40倍的光学放大和实测横向1.28μm,纵向1.59μm的高分辨率成像，足以辅助多种电子显微类仪器装置搜...