一种等离子体溯源测量装置设计及性能测试

摘要： 文章设计了一套等离子体溯源测量装置为验证感应耦合等离子体（ICP）源作为校准源的性能，找出满足朗缪尔探针溯源校准的最佳等离子体测试条件，提升测试准确性，采用控制变量法对不同工况下ICP源等离子体电子密度和电子温度的稳定性和均匀性，以及电子密度的重复性进行测试。结果表明：在放电开始5～20 min内，等离子体电子密度和电子温度的稳定性分别优于99.4%和98.9%；在探针伸入真空... （共9页）