基于矢量衍射理论的光栅干涉仪位移测量误差研究

摘要： 光栅干涉仪位移测量系统作为测量领域中最精密的测量仪器之一，由于在测量过程中光栅的姿态位置无法保证完美装配，使得光栅的光栅矢量方向与运动矢量方向之间出现偏差，导致位移测量结果出现周期性非线性误差。文中针对在光栅干涉仪位移测量过程中出现的光栅与位移台以及读数头之间的姿态位置误差进行分析，通过分别建立位移坐标系及光栅坐标系，参考惯性导航领域中飞行器姿态表示方法，利用一维光栅的横滚、俯... （共8页）